鲁阳精工真空科技（淄博）有限公司（简称“鲁阳精工”）是一家专注于真空设备研发、制造及系统集成的高新技术企业，总部位于山东省淄博市。公司聚焦半导体、光伏、电子、新材料等高端制造领域，致力于提供高精度、高可靠性的真空技术解决方案，助力工业智能化与绿色化发展。
核心业务
- 主营产品：
- 真空泵及真空机组（干式螺杆真空泵、旋片真空泵等）；
- 真空镀膜设备（PVD/CVD设备）；
- 真空热处理设备；
- 定制化真空系统集成（如半导体工艺腔体配套、光伏镀膜线）。
- 技术领域：
- 真空获得、真空测量、真空应用全链条技术；
- 节能型干式真空泵、低噪音设计、智能控制系统；
- 服务于精密制造与洁净环境需求。
应用领域
- 半导体制造：晶圆加工、封装测试环节的真空环境控制；
- 光伏产业：薄膜太阳能电池镀膜设备；
- 新材料研发：高纯材料制备、真空烧结；
- 电子光学：LED、显示面板镀膜；
- 工业设备：真空炉、真空干燥系统。
技术优势与资质
- 研发能力：拥有自主研发团队，多项真空技术专利；
- 制造标准：符合ISO 9001质量管理体系，部分产品通过CE认证；
- 行业合作：与高校、科研院所及头部企业联合开发定制化解决方案。
行业地位
- 国内真空设备领域新兴企业，重点布局半导体、新能源等战略行业；
- 客户覆盖国内半导体材料厂商、光伏组件企业及科研机构；
- 逐步拓展海外市场，参与国际产业链配套。
发展历程
- 成立时间：具体年份需核实（推测为2010年后，结合半导体产业升级背景）；
- 初期阶段：聚焦传统工业真空设备制造；
- 2020年后：切入半导体、光伏领域，推出高端干式真空泵及镀膜设备；
- 近期动态：2023年扩建淄博生产基地，提升产能与研发能力。
最新动态
- 产能扩张：2024年启动新产线建设，重点提升半导体级真空设备产能；
- 技术突破：开发适用于第三代半导体材料的超高真空系统；
- 政策支持：获山东省“专精特新”企业认定，参与地方高端装备制造产业规划。
